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本文讨论作为集成电路元件的高性能双极型晶体管的现状和有关的工艺问题。
高性能双极型集成电路晶体管
【摘 要】
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本文讨论作为集成电路元件的高性能双极型晶体管的现状和有关的工艺问题。
【机 构】
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贵州大学电子科学系,东南大学微电子中心
【出 处】
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电子科学学刊
【发表日期】
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1993年6期
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