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光栅位置检测技术现状及发展合肥工业大学孟超，费业泰一、前言利用光栅作为传感元件进行位置测量的原理是：用一对计量光栅作位移传感器，通过对莫尔条纹的计数测出移动光栅的位移量。随着光栅刻制技术的发展和莫尔条纹细分技术的不断完善，工业计量领域中的光栅技术得到...
光栅位置检测技术现状及发展
【摘 要】
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光栅位置检测技术现状及发展合肥工业大学孟超，费业泰一、前言利用光栅作为传感元件进行位置测量的原理是：用一对计量光栅作位移传感器，通过对莫尔条纹的计数测出移动光栅的位移
【机 构】
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合肥工业大学
【出 处】
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中国仪器仪表
【发表日期】
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1995年03期
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