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反射式高能电子衍射是一种对薄膜表面结构非常敏感的实时监测手段,通过对衍射花样的研究可以获得诸多有益的信息,将其引入薄膜制备装置对高质量薄膜的生长有着积极的指导意义。
反射式高能电子衍射对氧化物薄膜生长的原位监测
【摘 要】
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反射式高能电子衍射是一种对薄膜表面结构非常敏感的实时监测手段,通过对衍射花样的研究可以获得诸多有益的信息,将其引入薄膜制备装置对高质量薄膜的生长有着积极的指导意义
【机 构】
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山西大同大学物理与电子科学学院
【出 处】
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山西大同大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2011年5期
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