【摘 要】
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采用sol—gel法，在普通载玻片上使用旋转涂覆技术生长了具有c轴择优取向生长的Zn0薄膜。采用热分析、XRD、SEM等手段对薄膜样品进行了表征。热分析结果表明，二水醋酸锌-乙醇胺-
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采用sol—gel法，在普通载玻片上使用旋转涂覆技术生长了具有c轴择优取向生长的Zn0薄膜。采用热分析、XRD、SEM等手段对薄膜样品进行了表征。热分析结果表明，二水醋酸锌-乙醇胺-乙二醇甲醚体系sol—gel的热分解过程与纯二水合乙酸锌的分解过程大相径庭。Zn0薄膜的sol—gel分解趋于在较窄的温度范围内一步完成。样品在XRD图谱中表现出明显的c轴择优取向。此外，SEM照片也表明：ZnO薄膜样品中间区域和边缘区域的表面形貌相差甚远。探讨了预热处理温度、退火温度等工艺条件对ZnO薄膜的结构性能的影响，最
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