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介绍一种MEMS电容式微加速度计的结构和等效电路，然后介绍了开关电容放大器的工作原理，最后用可消除寄生电容的等效跨阻取代普通开关电容运放中的并联模拟电阻。设计了一种对寄生电容不敏感的电容-电压转换电路，该电路可用于检测电容传感器的微小差分电容。
微小差分电容检测电路设计
【摘 要】
：
介绍一种MEMS电容式微加速度计的结构和等效电路，然后介绍了开关电容放大器的工作原理，最后用可消除寄生电容的等效跨阻取代普通开关电容运放中的并联模拟电阻。设计了一种对寄
【机 构】
：
中国科学院合肥智能机械研究所,中国科学技术大学自动化系
【出 处】
：
仪表技术
【发表日期】
：
2008年10期
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