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介绍了一种基于体硅微机电系统（MEMS）工艺制作的扭摆式硅微机械加速度传感器，对制作过程的一些工艺问题进行探讨，并提出相应的解决办法，主要涉及到硅一玻璃阳极键合、结构释放等关键工艺。对测试结果进行了初步分析，分辨力可以达到1mgn，测试±1gn范围内线性度可以达到99.99％。
一种扭摆式硅微机械加速度传感器
【摘 要】
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介绍了一种基于体硅微机电系统（MEMS）工艺制作的扭摆式硅微机械加速度传感器，对制作过程的一些工艺问题进行探讨，并提出相应的解决办法，主要涉及到硅一玻璃阳极键合、结构释放等关
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院研究生院
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2006年8期
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