【摘 要】
：
基于相同点位分别测试了TFT白点色度均匀性(WCU)和各层氮化硅(SiNx)膜厚,并分析了二者的关联性,发现TFT WCU与栅极绝缘层(GI)和第二绝缘层(PVX2)两层的相关性较大,而与厚度最
论文部分内容阅读
基于相同点位分别测试了TFT白点色度均匀性(WCU)和各层氮化硅(SiNx)膜厚,并分析了二者的关联性,发现TFT WCU与栅极绝缘层(GI)和第二绝缘层(PVX2)两层的相关性较大,而与厚度最薄,折射率最大的第一绝缘层(PVX1)最不相关;提出了降低GI层剩余厚度避免低速沉积GI(GL)的残留和降低PVX2膜层厚度以提升面内均一性的改善方案,最终使得产品的TFT WCU均值降低约0.000 7;最大值由改善前的0.007 0降至改善后的0.005 2,满足了最大值≤0.005 5的目标值,改善效果明显。
其他文献
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
目的:探究综合性的护理方式对比传统护理方式的效果。方法:选取从2017-01~2018-01期间来我院治疗的宫颈癌病人96例,随机平均分为2组,一组为对照组,另一组为实验组。其中对照
目的:研究并探讨鹰演全身健康扫描系统在健康管理中的应用价值。方法:选取2017-01~2017-11在内蒙古医科大学附属医院体检中心受检者448例为研究对象,按照年龄进行分组,通过鹰
为了实现人机交互场景中按键矩阵的硬件通用化设计,功能软件自定义设置、按键数量可扩展,对OLED显示按键进行了研究,并设计了基于OLED显示按键的按键矩阵。根据OLED显示按键
契嵩,北宋杰出禅僧,中国禅宗史上具有重要影响人物,属云门下四世。契嵩的《辅教编》集中体现了其佛学思想及关于儒佛异同的见解。对《辅教编》进行细致的分析探讨,还原理学兴
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
<正>面对国内外学术期刊从纸质媒体向数字化转型的大趋势,《畜牧与饲料科学》编辑部积极规划数字化转型战略,打造数字化建设平台。《畜牧与饲料科学》编辑部于2015年2月1日正
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
煤在气化、燃烧与活性炭制备等热化学转化过程中,均存在着孔隙结构与表面积的变化.煤的孔隙结构变化特征的研究是煤炭高效合理利用的基础.从煤的孔隙结构的表征、反应过程中
非小细胞肺癌(NSCLC)为最常见的肺癌病理类型,约占肺癌总数的85%。大多数肺癌患者在确诊时已属晚期,失去手术机会,保守治疗成为其重要治疗手段,但晚期肺癌患者的预后仍不理想