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应用椭偏光谱法,测量透明膜和吸收膜的折射率、厚度及消光系数.利用Delphi语言编程对实验数据进行处理,其结果与已正式出版的椭偏测厚数据表进行对比,各测量点绝对误差为0.01nm,该程序适用于椭偏光谱仪对各种匀质膜测量的数据处理.
椭偏光谱测量匀质膜光学特性的计算分析
【摘 要】
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应用椭偏光谱法,测量透明膜和吸收膜的折射率、厚度及消光系数.利用Delphi语言编程对实验数据进行处理,其结果与已正式出版的椭偏测厚数据表进行对比,各测量点绝对误差为0.01
【机 构】
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辽宁大学物理系
【出 处】
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辽宁大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2003年2期
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