真空阴极电弧沉积（Ti,Al）N薄膜的应用研究

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【摘要】

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为了提高TiN涂层刀具的耐磨性,采用钛铝合金靶,以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,Al)N涂层.对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测试及研究,并试验了(Ti,Al)N涂层高速钢钻头

【作者】

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付志强蔡育平袁镇海林松盛

【机构】

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广州有色金属研究院

【出处】

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机械工程材料

【发表日期】

：

2001年8期

【关键词】

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真空阴极电弧沉积涂层刀具氮化铝氮化钛 vacuum cathodic arc deposition (Ti Al)N coating coated t

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为了提高TiN涂层刀具的耐磨性,采用钛铝合金靶,以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,Al)N涂层.对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测试及研究,并试验了(Ti,Al)N涂层高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命.结果表明:(Ti,Al)N涂层硬度高达HV0.1,153700,(Ti,Al)N涂层使高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命显著提高.

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