【摘 要】
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采用电化学阳极氧化法制备彩色薄层多孔硅，经高温热氧化处理后形成稳定的热氧化多孔硅。研究电化学制备条件对热氧化多孔硅的干涉效应和光学厚度的影响，分析热氧化处理前后多孔
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(10476035)
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采用电化学阳极氧化法制备彩色薄层多孔硅，经高温热氧化处理后形成稳定的热氧化多孔硅。研究电化学制备条件对热氧化多孔硅的干涉效应和光学厚度的影响，分析热氧化处理前后多孔硅的稳定性。结果表明，在可见光波长范围内，所制备的热氧化多孔硅反射光谱出现一定规律性的干涉条纹，表现出明显的反射干涉现象；随阳极氧化时间、电流密度和HF浓度增大，热氧化多孔硅光学厚度呈增大趋势，当阳极氧化时间为30s、电流密度为520mA／cm^、v（HF）：v（C2H5OH）为2：1～5：2时，制备的热氧化多孔硅干涉条纹均匀且光学厚度较大；热
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