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利用纯氟,可以在高温,高压下对钛、钛合金和高温合金进行有效的表面渗氮。将工件放在高压容器内、充入纯氮,逐渐的升温,增压,至温度达900~1200℃,压强高达200MPa时保持1~6h,保持时间主要取决于温度、压力、工件材料及氮的分解情况。钛、钛合金和大多数高温合金都可迅速与纯氮反应。钛的渗氮压强为31.028MPa,温度达800