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讨论了有关硅基微机械式光调制技术的基本原理和一些相关的制作方法,尝试制作了多层膜光反射调制器样品,并进行了初步测试.
微型Fabry-Perot机械式光调制器研究
【摘 要】
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讨论了有关硅基微机械式光调制技术的基本原理和一些相关的制作方法,尝试制作了多层膜光反射调制器样品,并进行了初步测试.
【机 构】
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华东师范大学电子系,华东师范大学量子光学开放实验室,上海 200062
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2000年4期
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