表面微机械加工相关论文
本文根据气体动力学,利用在一定范围内气体导热与气压大小成比例的关系,采用表面微机械加工技术和CMOS工艺研制了一种微桥热传......
多孔硅的形成和刻蚀技术是一项新型的表面微机械加工技术，我们以多孔硅为牺牲层，利用多孔硅的选择性生长机理，以及利用在高阻衬底上横......
随着电子设备的日益信息化、智能化、微型化，电子系统都在向着高性能、低成本、低功耗的方向发展。在未来的通信系统里，高Q值的谐振......
讨论了有关硅基微机械式光调制技术的基本原理和一些相关的制作方法,尝试制作了多层膜光反射调制器样品,并进行了初步测试.......
介绍了基于微型智能传感器的直接式轮胎压力监控系统的构成和原理,并讨论了微型传感器数据的读取、微机械加工等关键技术.......
讨论了高性能微惯性器件单片集成技术。首先对单片集成MEMS技术的优势及面临的困难进行了讨论,并对目前主流的单片集成MEMS技术特......
微电子机械系统是当今热门的研究课题，其整个制造工艺范畴十分引人注目。本文将简要介绍由多晶硅表面微机械加工制造的微型执行元件......
在自由式微结构如束、振动膜和过载传感器的制造过程中，经常遇到的一个难题是分离开粘连在衬底上的微结构。这种同象出现在牺牲腐蚀......
针对轮胎压力监控系统(TPMS)在保障汽车舒适性与安全性上的重要作用,介绍了基于智能轮胎压力传感器KP500的直接式轮胎压力监控系统......
文章介绍了直接式轮胎压力监控系统（PSBTPMS）的构成和原理，重点讨论了应用于直接式轮胎压力监控系统中的微型智能传感器的数据读取、......
本文简要介绍了微机电系统制作用的基本腐蚀技术，包括各向同性腐蚀，各向异性腐蚀、牺牲层腐蚀、干法腐蚀、ＨＦ阳极腐蚀等。重点介绍了为......
本书着重介绍了硅微加工技术中应用的各种方法，包括各向异性湿法化学腐蚀，硅片键合，表面微机械加工，硅的各向同性湿法化学腐蚀，......
