【摘 要】
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本文介绍了近几年日本微型机械技术和微型传感器技术的主要进步,详细介绍了“微型机械”项目的进展情况,及其所涉及的各种新技术。
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本文介绍了近几年日本微型机械技术和微型传感器技术的主要进步,详细介绍了“微型机械”项目的进展情况,及其所涉及的各种新技术。
This article introduces the major advances in micro-mechanical technology and micro-sensor technology in Japan in recent years, and details the progress of the “micro-mechanical” project and the various new technologies involved.
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