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根据高温超导薄膜的特点，详细讨论了制备高温超导滤波器的光刻技术及在制备的各环节中需注意的问题，实验结果表明：此种方法提高了制备的成功率。
高温超导滤波器的光刻工艺
【摘 要】
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根据高温超导薄膜的特点，详细讨论了制备高温超导滤波器的光刻技术及在制备的各环节中需注意的问题，实验结果表明：此种方法提高了制备的成功率。
【机 构】
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内蒙古科技大学数理与生物工程学院
【出 处】
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低温与超导
【发表日期】
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2009年3期
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