六甲基二硅胺烷（HMDS）为原料CVD制备硅基纳米粉体的研究

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：luther2006

【摘要】

：

以六甲基二硅胺烷作原料，用ＣＶＤ法合成的纳米粉体，在１０００－１５００℃温度范围内合成的均属无定形，１０００℃合成的纳米颗粒呈圆球形，粒径８－１０ｎｍ，少量２５－３０ｎｍ，在１４００℃高温下合成的颗粒较均匀，为８－１０ｎｍ的圆球形，经高温晶化处理后，低温时

【作者】

：

江东亮陆忠乾

【机构】

：

中国科学院上海硅酸盐研究所

【出处】

：

无机材料学报

【发表日期】

：

1997年3期

【关键词】

：

晶化甲基二硅胺烷纳米粉体气相沉积硅 CVD nano amorphous crystallization

【基金项目】

：

国家攀登计划A“纳米材料科学”项目

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

以六甲基二硅胺烷作原料，用ＣＶＤ法合成的纳米粉体，在１０００－１５００℃温度范围内合成的均属无定形，１０００℃合成的纳米颗粒呈圆球形，粒径８－１０ｎｍ，少量２５－３０ｎｍ，在１４００℃高温下合成的颗粒较均匀，为８－１０ｎｍ的圆球形，经高温晶化处理后，低温时合成的粉末呈晶须状，ＳｉＣ和Ｓ相共存，以ＳｉＣ相为主，较高温度下合成的粉体颗粒长大成２０－４０ｎｍ，以β－ＳｉＣ相为主伴有α－ＳｉＣ相，颗粒外表

其他文献

层状Al2O3—TiC复相陶瓷的制备与性能

利用流延到工艺制备了Ａｌ２Ｏ３－ＴｉＣ复相陶瓷薄膜，通过叠层，预压，脱粘和热压烧结工工艺，制行了层状结构复相陶瓷，讨论了分散剂，ｐＨ值，固含量对浆粘粘度的影响，用ＴＧＡ分析了陶瓷膜的脱粘过程，用ＳＥＭ和光学显微镜

期刊

流延成型断裂复合陶瓷层状氧化铝碳化钛slurry viscosity tape casting work of fracture

Solving Systems of Transcendental Equations Involving the Heun Functions

The Heun functions have wide application in modern physics and are expected to succeed the hypergeometrical functions in the physical problems of the 21st centu

期刊

ROOT-FINDINGALGORITHMMüllerALGORITHMTwo-DimensionalMüllerALGORIT

掺钛蓝宝石激光晶体中夹杂物的分析

本文用大视场光学显微镜、电子探针观察和分析了掺钛蓝宝石激光晶体中夹杂物的形状、尺寸大小及元素组成，并提出消除和减少这些夹杂物的方法．

期刊

激光晶体蓝宝石钛掺杂物晶体缺陷缺陷分析laser-crystal sapphire titanium additions crystal def

莫来石基陶瓷中柱状晶粒的断裂分析

本文制得了莫来石／莫来石（柱状）、ＺＴＭ／莫来石（柱状）类似于晶须增韧复合陶瓷显微结构的莫来石基陶瓷，并对柱状莫来石的断裂进行了研究和分析，莫来石柱状晶粒具有较高的强度，它的生长发育使

期刊

莫来石柱状晶粒断裂陶瓷复合陶瓷mullite ZTM rodlike particles fracture

Dispersion Effect on Traveling Wave Solution of K-dV Equation

All solutions of the Korteweg-de Vries(K-dV) equation that are bounded on the real line are physically relevant, depending on the application area of interest.

期刊

DISPERSIONTEMPORALINDEPENDENTPROPAGATESOLITARYWaveNONHYDROSTATICDispersio

空气重介质流化床选煤自动测控系统

论述了利用空气重介质流化床选煤工业生产过程中的工艺自动控制技术.研究了工艺生产过程中主要控制参数的测量和控制方法,采用先进的工业控制组态软件,设计了控制方案并进行

期刊

流化床选煤自动控制系统流化密度床高控制模式

扫描电子声显微镜的成像机理及其应用

扫描电子声显微镜是近几年国际上发展起来的一种新型的显微微观察与成像工具，由于它的成像机理与以往的扫描电镜完全不同，特别是它能进行非破坏性的揭示样品亚表面特性的能力。

期刊

SEAMSEM光声效应缺陷检测成像机理SEAMSEMthermal wavephoto-acoustic effectflaw detecti

A Wavelet Based Method for the Solution of Fredholm Integral Equations

In this article, we use scaling function interpolation method to solve linear Fredholm integral equations, and we prove a convergence theorem for the solution o

期刊

CoifletSCALINGFunctionINTERPOLATIONWAVELETFREDHOLMINTEGRALEquationMULTIR

高档普采工作面大倾角回采安全管理

义安煤矿是一个地质条件较为复杂。煤层赋存条件差，断层较多的矿井。该矿一直以来都采用炮采回采工艺，造成采煤工作面的回采效率低。单产水平也很低。为提高采煤工作面的回采效

期刊

大倾角高档普采可行性

不锈钢基Ni—HAP生物材料的复合电镀研究

本文研究了不同前自理工艺对Ｎｉ－ＨＡＰ复合镀层性能的影响。发现电解抛光的基体与复合镀层的结合比机械抛光的基体与复合镀层的结合更紧密更牢固。制出了有应用前景的不锈钢基Ｎｉ－ＨＡＰ复合生物

期刊

不锈钢基体抛光复合电镀复合陶瓷生物陶瓷Ni-HAP biomaterial non-corrosive steel matrix polishin

六甲基二硅胺烷（HMDS）为原料CVD制备硅基纳米粉体的研究

与本文相关的学术论文