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在光学系统中,非球面零件起到非常大的作用,但是如何得到合格的光学非球面零件是重点和难点。使用工业机器人替代传统手工抛光方式......
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随着IC制造技术进入到亚深微米时代,化学机械抛光(CMP)工艺成为ULSI多层布线的关键技术之一。分析了W-CMP的机理,抛光液对W材料表面......
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本文研究了不同前自理工艺对Ni-HAP复合镀层性能的影响。发现电解抛光的基体与复合镀层的结合比机械抛光的基体与复合镀层的结合更紧密更......
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