采用溶碳活性很高的稀土金属Ce和过渡金属Fe熔炼出Ce-7％Fe（原子分数，下同）合金，利用该合金对CVD金刚石膜进行热化学抛光。结果表明：Ce-7％F......

在光学系统中,非球面零件起到非常大的作用,但是如何得到合格的光学非球面零件是重点和难点。使用工业机器人替代传统手工抛光方式......

在介绍了磁流变抛光的基本原理基础上，对磁流变抛光的两种不同结构的装置进行了优缺点比较，从影响抛光效率和最终表面精度考虑，确定了......

随着IC制造技术进入到亚深微米时代,化学机械抛光（CMP）工艺成为ULSI多层布线的关键技术之一。分析了W-CMP的机理,抛光液对W材料表面......

具体分析了铜的碟形缺陷并非由于抛光垫的弯曲造成，但是与抛光垫的表面形态有关，在此基础上，分析了铜CMP的作用机制，初步定性指出造成......

为延长机械密封环的工作寿命,采用热丝化学气相沉积法在碳化硅陶瓷机械密封环工作表面涂覆具有耐磨减摩特性的、厚度30～50μm微米金......

This paper studies desizing and polishing of naturally colored cotton with different enzyme. The reactivity of cellulase......

在晶体加工中，特殊晶向及晶体棱镜的切割一直是困扰加工者的一大难题。虽然通过一边研主要原因这测量修正能够制作出器件，但是，要付出......