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文章通过对椭偏仪测量原理的分析给出了四区平均消光状态下的计算公式,利用该公式计算在一个周期内的薄膜厚度和折射率结果较好;同时给出了膜厚大于一个周期时的计算方法.
椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率
【摘 要】
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文章通过对椭偏仪测量原理的分析给出了四区平均消光状态下的计算公式,利用该公式计算在一个周期内的薄膜厚度和折射率结果较好;同时给出了膜厚大于一个周期时的计算方法.
【机 构】
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云南师范大学太阳能研究所
【出 处】
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云南师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2005年4期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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