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在离子束辅助镀膜工艺中,离子源工作参数无疑是影响薄膜质量的关键因素.本文对宽束冷阴极离子源溅射特性进行了研究,给出了离子源引出电压与溅射速率的关系.同时研究了离子束对ZnS薄膜折射率的影响.
离子源的溅射特性及其对ZnS薄膜折射率的影响
【摘 要】
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在离子束辅助镀膜工艺中,离子源工作参数无疑是影响薄膜质量的关键因素.本文对宽束冷阴极离子源溅射特性进行了研究,给出了离子源引出电压与溅射速率的关系.同时研究了离子束
【机 构】
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西安工业学院
【出 处】
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西安工业学院学报
【发表日期】
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2002年2期
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