国外金属硅化物肖特基势垒红外电荷耦合器件(SBIRCCD)的发展动态

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本文简述了国外金属硅化物(Au—P—Si、Pd_2Si、PtSi)肖特基势垒红外电荷耦合器件(SB—IRCCD)的发展动态。其次展望了长波(1~12μm)肖特基势垒的发展趋势。 In this paper, the developments of Schottky barrier infrared charge-coupled devices (SB-IRCCD) of foreign metal silicides (Au-P-Si, Pd_2Si, PtSi) Secondly, the development trend of Schottky barrier in long wave (1 ~ 12μm) is prospected.
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