0603型钽电容器氧化膜的生长工艺

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sabot

【摘要】

：

研究0603型钽电容器氧化膜的生长工艺.分别就影响介质膜质量主要工艺参数:形成液类型、形成液浓度、升流密度、恒压时间进行试验,最后进行湿测漏电流,通过比较得出生长氧化膜

【作者】

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徐云飞李春光安涛吴华

【机构】

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西安理工大学,陕西西安,710048西安理工大学,陕西西安710048;宁夏星日电子有限公司,宁夏银川750011;宁夏星日电子有限公司,宁夏银川,750011;

【出处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2013年1期

【关键词】

：

0603型钽电容器形成液形成液浓度升流密度恒压时间

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研究0603型钽电容器氧化膜的生长工艺.分别就影响介质膜质量主要工艺参数:形成液类型、形成液浓度、升流密度、恒压时间进行试验,最后进行湿测漏电流,通过比较得出生长氧化膜最好的工艺参数.最后试验得出使用0.2％(体积分数)硝酸溶液以40 mA/g的升流密度恒压5h能够生长质量良好的氧化膜,湿测漏电流非常低,为0.036 μA.

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