金刚石/氧化锌透明异质结的研制

来源 :硅酸盐学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sz_davild
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利用化学气相沉积和磁控溅射方法制备了透明金刚石薄膜/氧化锌异质结.首先,在金刚石单晶表面外延生长1层透明p型半导体金刚石薄膜,然后在金刚石薄膜上利用反应磁控溅射方法制备出n型透明氧化锌半导体薄膜;进而利用溅射、光刻等方法制备出欧姆接触电极,获得了金刚石/氧化锌透明异质pn结.该结呈现典型的二极管伏安特性曲线,开启电压为1.0 V.在500~700 nm波长范围内,该结的透过率达到20%.
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