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提出了一种高精度的对准偏差算法─—双池算法。根据这种算法,将暗场对准系统中扫描采集的光电对准信号,通过求出整个扫描曲线的对称点以代替传统的极值点或阈值点,使重复对准精度达0.11 μm(3σ)。文中对双池算法的原理、特点及数学表达式进行了详细的论述,并给出了实验结果。
双池算法软件在对准偏差计算中的应用
【摘 要】
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提出了一种高精度的对准偏差算法─—双池算法。根据这种算法,将暗场对准系统中扫描采集的光电对准信号,通过求出整个扫描曲线的对称点以代替传统的极值点或阈值点,使重复对准精度达0.11 μm(3σ)。文中对双池算法的原理、特点及数学表达式进行了详细的论述,并给出了实验结果。
【机 构】
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清华大学精密仪器系,北京100084
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1995年15期
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期刊
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