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最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度,其长度测量不确定度达到(0.02+0.2L)μm.文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析,给出了量块测量的验证数据.
满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪
【摘 要】
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最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度,其长度测量不确定度达到(0.02+0.2L)μm.文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析,给出了量块测量的验
【机 构】
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中国航空长城计量测试技术研究所
【出 处】
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航空计测技术
【发表日期】
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2002年5期
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