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接触式激光量块干涉仪相关论文
满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪
最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度,其长度测量不确定度达到(0.02+0.2L)μm.文中介绍了其工作原......
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接触式激光量块干涉仪
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