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采用湿法水力溢流过滤的方法对β-SiC微粉进行分级,达到了溢流分级与过滤分级的双重功效.通过实验研究了溢流流量及床层高度对溢流过滤分级效果的影响,并对分级后的产品进行了粒度分析及SEM电镜分析.研究表明,溢流过滤分级法可以实现5μm以下β-SiC颗粒的精密分级;能稳定获得W5、W3.5、W2.5、W1.5的分级产品,而且分级精度较好、产率较高,达到了对β-SiC微粉窄级别稳定分级的新要求.