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期刊论文
多晶硅压力传感器的设计
多晶硅压力传感器的设计
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong452
【摘 要】
:
本文是利用多晶硅压阻效应,研制出数字输出式压力传感器,利用软、硬件技术进行温漂和非线性补偿,经A/D转换,实现数字量输出。
【作 者】
:
牛德芳
闫卫平
【机 构】
:
大连理工大学,大连理工大学辽宁省大连市116024教授,辽宁省大连市116024,辽宁省大连市116024
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
1994年6期
【关键词】
:
压力传感器
传感器
设计
多晶硅
参数选择
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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本文是利用多晶硅压阻效应,研制出数字输出式压力传感器,利用软、硬件技术进行温漂和非线性补偿,经A/D转换,实现数字量输出。
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