多晶硅压力传感器的设计

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong452
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本文是利用多晶硅压阻效应,研制出数字输出式压力传感器,利用软、硬件技术进行温漂和非线性补偿,经A/D转换,实现数字量输出。
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