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对硅片传输机器人手臂结构优化变量进行分析,明确主要的优化参数,制定硅片传输机器人整体规划方案。分析硅片传输机器人动态特性。提出硅片传输机器人末端手臂静偏移约束,利用刚性杆规定优化目标,使关节系统更加的灵活。在优化参数基础上积极调整手臂结构建立硅片传输机器人动力模型,通过调整频率分析柔性关节对精准度的影响。