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本文介绍一种球坑半径自动测量系统。该系统利用四点测球原理 ,能快速、自动地测量球坑半径的值。该系统已用于自动测量仪中 ,经试验 ,球坑半径测量的极限误差为± 1 μm。
球坑半径自动测量系统
【摘 要】
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本文介绍一种球坑半径自动测量系统。该系统利用四点测球原理 ,能快速、自动地测量球坑半径的值。该系统已用于自动测量仪中 ,经试验 ,球坑半径测量的极限误差为± 1 μm。
【机 构】
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上海交通大学信息检测技术与仪器系
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2000年08期
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