【摘 要】
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本文结合国内外固体润滑膜的发展趋势,以及当前材料发展中有关'多相材料'的新理念,提出了一种新的固体润滑膜沉积方法--非平衡纳米复合等离子体镀膜法(NCUPP).采用该
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本文结合国内外固体润滑膜的发展趋势,以及当前材料发展中有关'多相材料'的新理念,提出了一种新的固体润滑膜沉积方法--非平衡纳米复合等离子体镀膜法(NCUPP).采用该法成功地对几种材料(Ti、N、Mo、S等)进行精细的纳米复合,制备的固体润滑膜TiN-MoS2/Ti是多相纳米复合膜,其中的MoS2基本上呈准非晶态,掺杂物Ti与MoS2多相复合,形成了多相的纳米复合薄膜,具有良好的摩擦学性能,即摩擦系数低;耐磨损寿命长;抗潮湿氧化能力明显提高.
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