高质量扫描透射电子显微镜高角环形暗场像的实验关键点

来源 :实验科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shengli46

【摘要】

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高角环形暗场像(high-angle annular dark-field,HAADF)作为扫描透射电子显微镜(scanning transmission election microscope,STEM)最主要的成像方式之一,是近年来各科研领域

【作者】

：

郝龙龙覃丽禄

【机构】

：

重庆大学材料科学与工程学院,重庆大学电子显微镜中心

【出处】

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实验科学与技术

【发表日期】

：

2020年3期

【关键词】

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高角环形暗场像扫描透射电镜高分辨 high-angle angular dark-field scanning transmission election

【基金项目】

：

国家自然科学基金(51701031)

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高角环形暗场像(high-angle annular dark-field,HAADF)作为扫描透射电子显微镜(scanning transmission election microscope,STEM)最主要的成像方式之一,是近年来各科研领域高分辨研究的热点技术,在球差矫正器的应用下可实现单原子或原子柱的亚埃级位置和化学成分分辨。实验环节中关键点的认识是获得高质量高角环形暗场像的关键。该文以FEI Titan G2 60-300 Chemi-STEM球差矫正型扫描透射电子显微镜为例,从实验环境控制、样

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