【摘 要】
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半导体力敏器件是半导体器件中的一种新型器件,它为半导体器件的应用领域打开了一个新的天地.目前国内外都有相当的研究,国外已经商品化;而国内正处研制阶段.虽然有许多研制
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半导体力敏器件是半导体器件中的一种新型器件,它为半导体器件的应用领域打开了一个新的天地.目前国内外都有相当的研究,国外已经商品化;而国内正处研制阶段.虽然有许多研制报告,但是由于工艺上的不成熟,使得产品质量、成品率都较差,成本较高,商品化有困难.
Semiconductor force-sensitive device is a new kind of device in semiconductor device, which opens a new world for the application field of semiconductor device.At present, there are quite a few researches at home and abroad, the foreign countries have already commercialized it, and the domestic is in the research and development stage. There are many research reports, but due to immature technology, making the product quality, yield are poor, high cost, commercialization difficulties.
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