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本文介绍了用于投影光刻机的电控调焦系统的工作原理、系统结构和电路设计,讨论了主要器件选择原则,给出了电路实践结果。
投影光刻机中的电控调焦系统
【摘 要】
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本文介绍了用于投影光刻机的电控调焦系统的工作原理、系统结构和电路设计,讨论了主要器件选择原则,给出了电路实践结果。
【机 构】
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成都电子机械高等专科学校610031
【出 处】
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成都工业学院学报
【发表日期】
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1999年4期
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