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介绍了用离子束辅助沉积法制备纳米微晶钛的活性特点。纳米钛膜在较宽范围温度处理后，用X射线衍射线宽法（谢氏公式）测定出Ti及TiHx晶粒尺寸长大有限。β－Ti纳米微晶氢化后转变成TiHx的现象由X射线衍射（XRD）谱图证实。由氢饱和工艺提供的氢钛原子比印证了TiHxXRD谱线代表的原子比。
纳米微晶钛膜结构及其热稳定性
【摘 要】
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介绍了用离子束辅助沉积法制备纳米微晶钛的活性特点。纳米钛膜在较宽范围温度处理后，用X射线衍射线宽法（谢氏公式）测定出Ti及TiHx晶粒尺寸长大有限。β－Ti纳米微晶氢化后转变成T
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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2002年4期
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