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发光学报2018年第39卷第8期 目录
【出 处】
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发光学报
【发表日期】
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2018年39期
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提出了一种新型的结构解耦四质量块陀螺仪的结构设计以及制备方法。采用梳齿电极的设计和推挽法消除了静电驱动力的二倍频分量, 并对折叠梁结构进行仿真分析和优化, 有效地实现了对驱动和检测模态的结构解耦。针对陀螺仪的结构, 设计了可行的工艺方案并进行实际加工, 采用SOI和阳极键合工艺, 最终制作出四质量块陀螺仪样品。仿真得到驱动和检测模态的谐振频率差为7Hz, 表明其结构的高度对称性。谐响应分析下陀螺仪最大位移为1290nm, 驱动框架最大位移差为60.75nm, 检测框架最大位移为305.24nm, 取得了理
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我们测定了大气压氩等离子体射流中氩原子谱线的增宽和位移,并与Griem的理论值以及其他作者的实验值进行了比较,其结果与Griem理论值较好地符合.同时,用谱线位移法测定了等离子体射流的温度,测出的温度值与用其他光谱法测出的值很好地符合。我们的实验结果表明,谱线位移法可用于测定等离子体射流的温度,测温平均误差为10％.
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针对光腔衰荡光谱(CRDS)的吸收光谱曲线,利用MATLAB工具软件和最小二乘算法对常用的6种气体吸收光谱拟合算法(VP、GP、AVP、AGP、SDVP、SDAVP算法)进行编程,并设计了参数设置、拟合结果显示等界面化窗口;通过CRDS采集已知浓度CO2气体的吸收光谱;采用6种算法对吸收光谱进行拟合实验,比较6种不同线型算法的拟合误差。拟合结果显示:拟合曲线和测量点几乎完全重合;AVP算法拟合的平均残差最大,为3.1748×10 -3, GP及AGP算法的平均残差最小,为1.3212×10 -3,由此验证
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