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利用分子自组装膜技术制备了有机硅烷/纳米TiO2复合膜,并用XPS进行了表征。摩擦磨损试验结果表明,硅烷自组装膜可以降低基片的摩擦系数,但其强度较弱,这可能是由于硅烷与结合强度较弱、硅烷/TiO2复合膜的摩擦系数比硅烷自组装膜的摩擦系数小,而且耐磨寿命大幅度较高。摩擦50次以后,硅烷/TiO2复合膜的摩擦系数突然增大并超过干净基片的摩擦系数,这可能是由于TiO2微粒磨损脱落并团聚所致。