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为了在熔融石英基体内制作出高质量的微通道，分别用调Q的Nd：YAG脉冲激光器输出的基频光（1064nm）和经过倍频晶体后的混合光（倍频光为70％，基频光为30％）辐照熔融石英玻璃，通过诱导等离子体加工微通道，并初步分析了基频光与混合光加工产生差别的原因。结果表明，用混合光加工的通道内壁较光滑，加工速度快，所加工的通道最深达8mm。