通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出（英文）

来源 :量子电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：simba_m

【摘要】

：

分别研究了Ne、F_2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响.理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析.F_2分压对脉

【作者】

：

邱红松游利兵王庆胜尹广玥方晓东

【机构】

：

中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室

【出处】

：

量子电子学报

【发表日期】

：

2016年3期

【关键词】

：

激光技术 KrF准分子激光器气体分压优化气体混合物缓冲气体 laser techniques KrF excimer laser optimizati

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分别研究了Ne、F_2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响.理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析.F_2分压对脉冲能量输出的影响非常明显。工作气体中Kr参与的三体碰撞过程占主导地位,激光脉冲能量输出与Kr分压呈二次函数关系。当充电电压为28.7 kV,在最优化工作气体分压（F_2：He：Kr：Ne=0.315：5.985：19.5：305 kpa）下获得的最大单脉冲输出能量为807 mJ,全电效率为1.64%.

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