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表面是晶态固体原子在三维空间周期排列的终止处,它不同于体内环境。具有独特的局域化电子态和振动态。材料的许多性质与表面和界面状态有着密切的联系。从原子或分子级水平来研究表面的现代表面分析技术,是由能取得纳米(nm)级表面信息的能力来表征的。文中对四种实用表面分析技术,即AES、XPS、ISS和SIMS的进展作了综合性述评。综合表现在灵敏度、分辨率、数据采集和处理以及稳定性等方面的大幅度提高。但实验室间的数据比较表明,标准方法,校正步骤和数据库的建立仍是当务之急。