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锌掺杂半导体材料的共振电离质谱分析
锌掺杂半导体材料的共振电离质谱分析
来源 :光谱学与光谱分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ronaldocjz
【摘 要】
:
本文简要地描述了激光共振电离质谱的实验装置和测量方法,给出了用共振电离质谱方法对锌掺杂化合物半导体材料进行分析的光谱和质谱图,并估计了用这种方法进行痕量分析可能达
【作 者】
:
彭慰先
蒋占魁
郭川
Ledingham
K.W.D
仇伯仓
【机 构】
:
吉林大学物理系,130023,长春中国科学院长春应用化学研究所,130022,长春;Department of Physics & Astronomy,University of Glasgow,Gl
【出 处】
:
光谱学与光谱分析
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
激光共振电离质谱
半导体
锌
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本文简要地描述了激光共振电离质谱的实验装置和测量方法,给出了用共振电离质谱方法对锌掺杂化合物半导体材料进行分析的光谱和质谱图,并估计了用这种方法进行痕量分析可能达到的检测限.
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