关于掺As二氧化硅乳胶用于集成电路埋层扩散的实验总结

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:peteryang
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遵照毛主席“七·二一”光辉指示,我们实践小组与天津半导体器件厂工人相结合,在厂各级党组织领导下,在工人师傅和技术人员的具体指导下,对掺As二氧化硅乳胶进行了一系列实验,经过一年多来的工作取得了初步成果,现将工作总结如下。 Following Chairman Mao's glorious “July 21” instruction, our practice team, combined with workers from Tianjin Semiconductor Device Factory, under the leadership of Party organizations at all levels of the factory under the specific guidance of workers and technicians, Latex conducted a series of experiments, after more than a year of work has achieved initial results, the work is summarized as follows.
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