【摘 要】
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通过模拟了解光刻工艺问题＝ｕｎｄｅｒ－ｓｔａｎｄｉｎｇｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｉｓｓｕｅｓｔｈｒｏｕｇｈｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ［刊，英］／Ｎｅｕｒｅｕｔｈｅｒ．Ａ．Ｗ．Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．－１９９３．３２（１２Ｂ）．－５８...
Understand lithography process issues through simulation = under-standinglithographytechnologyissuesthroughsimulation [/] / N
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通过模拟了解光刻工艺问题＝ｕｎｄｅｒ－ｓｔａｎｄｉｎｇｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｉｓｓｕｅｓｔｈｒｏｕｇｈｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ［刊，英］／Ｎｅｕｒｅｕｔｈｅｒ．Ａ．Ｗ．Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．－１９９３．３２（１２Ｂ）．－５８...
Understand lithography process issues through simulation = under-standinglithographytechnologyissuesthroughsimulation [/] / Neureuther. A. W. Jpn. J. Appl. Phys. -1993.32 (12B). -58 ...
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