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接触式干涉仪又名乌式干涉仪，它是检定100mm以下3等、4等量块时主要设备之一，接触式干涉仪一般配有球筋工作台和五筋工作台。在检定时分别用于检定2mm以下和2-100mm量块的长度及变动量。标称长度L≤2.5mm的量块在自由状态下其平面度公差如表1所示，因此国家计量检定规程“接触式干涉仪”中要求，