【摘 要】
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ＷＪ９４１７６８电磁波加热装置─—《省》，１９９３，ｖｏｌ４５，Ｎｏ．１０，４７～５７（日）针对微波放电等离子的应用，概述了等离子的产生、直流放电与高频微波放电。扼要阐述了微波的安全性，介绍了微波等离子处理装置的设备概要，微波等离子
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ＷＪ９４１７６８电磁波加热装置─—《省》，１９９３，ｖｏｌ４５，Ｎｏ．１０，４７～５７（日）针对微波放电等离子的应用，概述了等离子的产生、直流放电与高频微波放电。扼要阐述了微波的安全性，介绍了微波等离子处理装置的设备概要，微波等离子处理的特点及其应用...
WJ941768 Electromagnetic wave heating device ─ ─ “province”, 1993, vol45, No. 10,47 ~ 57 (Japan) For the application of microwave discharge plasma, the plasma generation, DC discharge and high frequency microwave discharge are summarized. Briefly described the safety of microwaves, introduced microwave plasma processing device equipment outline, microwave plasma processing characteristics and its application.
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