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单晶炉勾形磁场设计参数实验验证
单晶炉勾形磁场设计参数实验验证
来源 :西安理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fanfan19860303
【摘 要】
:
通过模拟方法得到8英寸单晶炉(16英寸坩埚)勾形磁场的设计参数,并对磁场参数的模拟结果进行了实验验证.结果表明:磁场参数及其分布均满足晶体生长要求,磁场参数的模拟结果与
【作 者】
:
安涛
高勇
李守智
【机 构】
:
西安理工大学
【出 处】
:
西安理工大学学报
【发表日期】
:
2005年3期
【关键词】
:
有限元
勾形磁场
单晶炉
磁感应强度
finite element
cusp magnetic field
mono-crystal furnace
ma
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通过模拟方法得到8英寸单晶炉(16英寸坩埚)勾形磁场的设计参数,并对磁场参数的模拟结果进行了实验验证.结果表明:磁场参数及其分布均满足晶体生长要求,磁场参数的模拟结果与实验结果吻合较好.该模拟方法可用于勾形磁场的实际设计.
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