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本文对ITO靶材的主要生产工艺进行了简介、简述ITO靶材在平板显示行业里应用的重要要求。针对目前ITO靶材利用率不高的现状,提出了几种提高平面ITO靶材利用率的方法和工艺改良意见。
提高平面ITO靶材利用率的方法
【摘 要】
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本文对ITO靶材的主要生产工艺进行了简介、简述ITO靶材在平板显示行业里应用的重要要求。针对目前ITO靶材利用率不高的现状,提出了几种提高平面ITO靶材利用率的方法和工艺改良意见。
【机 构】
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广东凯盛光伏技术研究院有限公司
【出 处】
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中国玻璃
【发表日期】
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2021年3期
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