超精密磨削辅助工作台及结构静动态特性研究

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研制了一种基于高刚度PZT作动器的超精密定位工作台,其特点是采用弹性铰链预紧和提供工作台侧向刚度,结构简单,动态响应速度快,分辨率高,为防止PZT作动器受到过大弯力作用和动平台弯曲变形,在动平台与PZT作动器间加入弹性缓冲环节和辅助弹性隔离板,另外,对工作台输入同特性,静动态刚度和模态振型,以及受外力的作用时产生的静态位移误差进行了试验研究,试验数据表明,该工作台可作为精密磨床的辅助工作台,极大地提高机床的定位精度。
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