精密定位工作台相关论文
设计了一种用于纳米压印光刻机的精密定位工作台,并对其进行构型设计、运动学分析与建模研究等关键技术.首先以传统3-PPRR并联机构......
应用现场总线技术将三套独立的射线无损检测设备统一管理控制的方案。能够将二套设备的控制操作及图像采集和处理集中在一台计算机......
随着IC制造工艺、超精密加工、精密仪器及生物医学工程等众多领域的不断发展，对定位精度的要求也越来越高，因此近年来，大行程精密定位......
研制了一种基于高刚度PZT作动器的超精密定位工作台 ,其特点是采用弹性铰链预紧和提供工作台侧向刚度 ,结构简单 ,动态响应速度快 ......
精密定位工作台温度的变化直接影响工作台的定位精度。通过建立精密定位工作台热膨胀模型，分析工作台在不同固定方式下的温度变化对......
针对纳米压印光刻技术（NIL）过程中的纳米级空间定位要求,设计了一种采用柔性并联构型和压电陶瓷驱动的三自由度精密定位工作台。基于......
精密定位工作台是光刻系统的核心,在实践加工过程中,工作台定位精度与设备对准精度、图形加工时的位移精度等密切相关。定位精度高......
运用反相补偿法原理，从误差曲线中分离出系统误差并与其反相曲线叠加以消除系统误差的影响。给出了对精密定位平台宏动工作台和微动......
研制了一种基于高刚度PZT作动器的超精密定位工作台，其特点是采用弹性铰链预紧和提供工作台侧向刚度，结构简单，动态响应速度快，分辨率......
冷压印光刻工艺是一种将模板图形翻制到硅片上的技术.为了获得高分辨率压印图形,为压印光刻机设计了一个精密定位工作台.精密定位......
