深度学习的光学超精密制造设备状态模式识别

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为提升超精密光学元件成品质量以及成品率,提出了深度学习的光学超精密制造设备状态模式识别方法,采集光学超精密制造设备状态数据集后,通过数据处理、关联分析与回归分析获取光学超精密制造设备状态数据集的关联度与拟合函数结果,将其作为训练样本输入卷积神经网络,通过卷积操作、池化操作以及网络结构与设置实施深度学习的模式识别,通过输出深度学习结果模式识别光学超精密制造设备状态,最后实验结果表明,本文方法可有效识别该制造设备的压力、转速、元件摆幅、元件摆速异常状态,总识别准确率高达99%,具有较高实用性能.
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