【摘 要】
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目的探讨具有各向异性的氧化镓晶片不同晶面的研磨加工差异。方法通过化学气相沉积法制备了高质量的自支撑金刚石厚膜,采用扫描电镜及拉曼光谱对其进行表征,将其作为摩擦副材
【机 构】
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盐城工学院机械工程学院,南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(51675457),江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金项目资助,江苏省高校优秀科技创新团队(2017_33)。
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目的探讨具有各向异性的氧化镓晶片不同晶面的研磨加工差异。方法通过化学气相沉积法制备了高质量的自支撑金刚石厚膜,采用扫描电镜及拉曼光谱对其进行表征,将其作为摩擦副材料,在三种不同液体环境下研磨β-Ga)2O_(3晶片的(100)晶面及(010)晶面,比较摩擦学特性的差别。借助三维扫描系统、扫描电镜及EDS能谱,观察与分析了加工后的氧化镓及自支撑金刚石厚膜的表面形貌、成分及磨损机理。结果 (100)晶面及(010)晶面在去离子水环境中的摩擦系数最大,而当液体环境为乙二醇及三乙醇胺溶液时,
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